コントロールバルブ(薬液) - メーカー・企業と製品の一覧

フッ素樹脂製の排圧弁・流量調整弁ソリューションを提供

新しい形で半導体薬液供給にかかわる排圧弁のソリューションを提案！幅広い用途に合わせて選択できます。

GEMÜ半導体製造向けフッ素樹脂バルブは世界各地の半導体工場で薬液やCMPスラリー供給設備の部分において活躍しております。その中でも弊社コントロールバルブを排圧弁としても使用いただいております。 排圧弁は特に薬液を安定的に供給するため、1次側の圧力を一定に保つために2次側に圧力を逃します。 特にCMPなど薬液の供給量が一定であることはウェハーの品質を保つ重要なポイントになります。 そこで弊社のバルブでは3種類のコントロールバルブをご提案できます。 ・iComLine C50＋GEMÜ 1434μPos ポジショナー　小流量制御、素早いON/OFFも可能 ・iComLine C53 電動コントロールバルブ　より制御が細やかなバルブ、CMPでも実績あり ・CleanStar C60＋GEMÜ 1434μPos ポジショナー　CMPに最適、ON/OFFも可能 どれも4-20mAで制御が可能で、バルブを用意していただくだけで、精密レギュレーターなど別部品は必要ありません。 PLC制御盤で制御が可能です。制御盤から管理していただくことで、異常時の発見も容易です。