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「KDシリーズ」の基本性能を受け継ぎ、20％縮小化を実現！半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能！
『VLCDシリーズ』は、基本性能は従来の「KDシリーズ」の性能を 受け継いだまま、部品の共通化を実施したダイヤフラムバルブです。 各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現。 洗浄工程、検査工程は、従来品と同等のため、半導体、FPD、LED用 製造装置等へご使用いただけます。 【特長】 ■従来の「KDシリーズ」の性能を受け継いだまま、部品の共通化を実施 ■外観サイズを従来品の「KDシリーズ」に対し、20％縮小化を実現 ■各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現 ■半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能 ＃空圧 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ポジションインジケーターを標準装備！突起型ねじがなく、不純物が付着しません
『CM/CP』はコンパクトな構造と高い流量容量を備えたエア式バルブです。 中性でクリーンであれば様々な流体や気体で動かせるドライランピストンで 作動。超小型設計により、ごく狭い場所にも容易に設置できます。 ダイヤフラムシールの交換が容易に行えるほか、不純物を含む流体の 影響を受けません。 【特長】 ■不純物を含む流体の影響を受けない ■高流量 ■どんな位置にも取付可能 ■超コンパクト構造 ■ドライランピストンで作動し、メンテナンスが不要 ■突起型ねじがなく、不純物が付着しない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
「KDシリーズ」をベースに更なるコンパクト化を実現！基本性能は「KDシリーズ」を全て受け継いだハイスペックバルブ
『KCDシリーズ』は、「KDシリーズ」をベースとして更なるコンパクト化を 図ったダイレクトダイヤフラムバルブです。 耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、多くの半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■KDシリーズの内容積1.2cm3に対し、0.97cm3まで小さくする事に成功 ■品種を1/4" サイズに限定しKDシリーズと同じデザインを持ちながら 外観サイズを約20%縮小、重量も軽量化 ■耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現 ■多くの半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及 ＃空圧 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
用途別に合わせた設計で圧倒的な軽量化！重さ約1/2(従来比)！
「DVF（開閉くん）」は「継手にバルブ機能を持たせる」という新しい発想から生まれたバルブ内蔵型継手です。 従来製品であるメタルダイヤフラムバルブＤＶＦシリーズと同等の構造・機能を維持しつつ、従来比５０％の圧倒的な軽量化を実現しています。 高気密、高耐久性で、超高純度流体／可燃性・毒性流体を必要とする製造ライン（半導体分野やバルクガス、高純度ガス向け）で利用可能。小口径配管向けです。 ※詳しくは、資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問合せください。
