EUVレジストを無駄なく流体制御 シリンジポンプ エクスカリバー
高分注精度が要求されるコーティング装置開発に実績あるテカンのシリンジポンプ。コンパクトでありながら、超頑丈設計。
高価なEUVレジストを無駄にしない流体制御シリンジポンプ スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適です。また、安価でありながら高い再現性（CV値：0.05％）を実現出来ています。 不安定な外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを容易に行わせることが可能です。 1回の送液の液量範囲：2nl～5ml 液量調節単位：最少2nl～ 調節可能な流速範囲：5μl/分～250ml/分 （83nl/秒～4.16ml/秒） 流速調整単位： 208nl/分～ （2nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：2.5ｍlシリンジを装着時 液量調節単位：最少104nl～ 調整可能な流速範囲：250μl/分～125ml/分 （4.1μl/秒～2.08ml/秒） 流速調整単位： 6.24ml/分～ （104nl/秒～） 特徴：エンコーダーによる吐出量と流速の管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。I/O端子で稼働の連動も容易。稼働量記憶機能あり。頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。
- 企業：テカンジャパン株式会社
- 価格：応相談
