【半導体製造向け】精密・コンパクトな装置組込用ポンプよる薬液滴下
半導体製造における薬液塗布を「より的確に、より正確に」。装置の仕様要求を簡単にクリア
微細なパターン形成や高度なプロセス制御が求められる半導体製造においては、薬液の正確な吐出が不可欠です。テカンのCavroポンプシリーズは、1μl以下～50mlの範囲で精密な液送を実現し、お客様の装置への組み込みを容易にするため、最適なソリューションを提供します。 シリンジポンプ：Centris、Xcalibur、XLP6000 マルチチャネルシリンジポンプ：XMP6000 ピストンポンプ：Pullsar PBC 【活用シーン】 ・ウェーハへのフォトレジストの精密滴下 ・化学機械研磨（CMP）におけるスラリー添加 ・洗浄・エッチング工程での薬液調合 ・メッキ工程（電解・無電解）の添加剤管理 ・パッケージング工程 など 【Cavroシリーズが選ばれる技術的理由】 ・高い分解能: ステッピングモーターによる細かいステップ制御で、極微量の吐出が可能 ・メンテナンス性: 装置への組込み（OEM）を前提とした設計で、クリーンルーム内でのダウンタイムを最小限に ・多様なシリンジ材質: 腐食性の強い半導体用薬液に対しても、適切な材質（PTFE、セラミックなど）を選択することで対応可能
- 企業：テカンジャパン株式会社
- 価格：10万円 ~ 50万円
