ＥＢ描画装置用 磁気シールドクリーンルーム
高性能な磁気シールドクリーンルームを保証します。
◆製品特長◆ ・クリーンルームと磁気シールド工事の一貫施工により、 高性能な磁気シールドクリーンルームを 提供 ・空調システムのユニット化及び磁気シールドパネルの組立方式により、 工事期間を従来の１／２に短縮 ・クリーンルームの再熱制御システムの開発により、精密な温度制御を実現すると共に 空調ランニングコストを低減します ◆空調、磁気シールド、ケミカルフィルターと複数の要素を全て自社製品で施工できる為、 納期・コスト面でお客様に満足を提供できます◆
- 企業：株式会社ダン・タクマ
- 価格：応相談
