クリーニングシステム NSH-V型ジェット式バキュームクリーナ
高速エアーにより優れた除塵効果を発揮します。
独特なノズル設計で20ミクロンクラスの微粒子を除去し、スぺーサービーズのクラスター除去に最適です。コンパクト設計で設置に便利かつ非接触式のため基板の表面への損傷はありません。
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高速エアーにより優れた除塵効果を発揮します。
独特なノズル設計で20ミクロンクラスの微粒子を除去し、スぺーサービーズのクラスター除去に最適です。コンパクト設計で設置に便利かつ非接触式のため基板の表面への損傷はありません。