193nm Qスイッチ励起レーザー IXION-193-SLM
高品質 TEM00 ビーム スペクトル幅 <120MHz フーリエ限界の単一周波数全固体レーザー
【高品質 TEM00 ビーム、スペクトル幅 <120MHz、フーリエ限界の単一周波数全固体レーザー】 ◀単一周波数全固体レーザーシステム IXION-193 ▶ ●光学計測、193 nm ステッパオプティクスの補正、高出力 ArF エキシマレーザーのバンド幅コントロールなどに使用可能。 ●スペクトルバンド幅はフーリエ限界理論値の近似値。 ●指定可能な中心波長 中心波長は 185～194 nm 範囲からご注文時にご指定可能。 ●オプションとして、絶対波長精度 0.001 nm の高精度スペクトロメータをシステムに搭載可能。 これによりレーザーのスペクトルチューニングを最高精度でコントロールできます。 ※詳細はPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社日本レーザー
- 価格：応相談
