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スパッタエッチング装置 - メーカー・企業と製品の一覧

スパッタエッチング装置の製品一覧

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フラットミリングとSEM観察

フラットミリングとSEM観察

Pbフリーはんだの結晶粒界や ボンディングパッドのボイド、まためっき表面とはんだの 境界面の状況がより緻密に観察できます。 【特徴】 ○アルゴンイオンの均一な照射によってSEM観察にも耐える完璧な覆面仕上が可能です。 ○5mm径の広い範囲を均一にスパッタエッチングでき、50nm/min(Cu)の高いミリングレートで処理します。 ○安定した放電電流(2~6kV)によって再現性のよい試料を提供できます。 ○光学顕微鏡に比べ分離機・焦点深度に優れ、微小領域の観測に適しているFF-SFM、SEM(2台)が24時間体制で対応しています。 ・詳細はお問い合わせ下さい

  • 分析機器・装置

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