【半導体製造向け】マスフローメーター EE771/EE772
半導体製造における清浄度管理をサポート。高精度計測で品質向上へ。
半導体製造業界では、製造プロセスにおける微細な異物混入が製品の品質を大きく左右します。特に、圧縮空気や各種ガスの清浄度管理は、歩留まりを左右する重要な要素です。マスフローメーターEE771/EE772は、これらのガス流量を正確に計測し、清浄度管理を支援します。高精度な計測と信頼性の高いデータを提供することで、製造プロセスの最適化に貢献します。 【活用シーン】 ・クリーンルーム内の圧縮空気供給ライン ・各種ガス供給ライン(窒素、酸素、アルゴンなど) ・半導体製造装置へのガス供給 【導入の効果】 ・ガス流量の正確なモニタリングによる品質管理の強化 ・ガス使用量の最適化によるコスト削減 ・製造プロセスの安定化と歩留まり向上
- 企業:株式会社テクネ計測
- 価格:応相談