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立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応！水や低粘度液体から高粘度液体まで微細化
『スプレーコーター』は、低粘度から高粘度の薬液に対応し、 微細な凹凸に塗布ができます。 微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、 キャビティ、トレンチ構造部分など、従来のスピンナーで塗布が困難で あった部分にも均一な膜を形成可能。 反射防止膜などの薬液をガラス材に均一にスプレーする用途にも好適です。 【特長】 ■微細な凹凸に塗布が可能 ■低粘度から高粘度の薬液に対応 ■数μmから数百μmの膜厚に対応 ■立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー！
スプレーコーター 立体レジスト塗布装置 DC110/DC210は、はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ーです。微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成できます。スピンナーでは実現が難しいキャビティ、ビアホール、トレンチ構造へのレジスト埋め込み塗布も可能です。塗布膜厚は、スピンナークラスの薄膜から超厚膜まで対応します。AZエレクトロニックマテリアル社AZ－P4000シリーズ、化薬マイクロケム社SU8、KMPRシリーズなどの超厚膜レジストをはじめ、ベンゾシクロブテン樹脂（BCB）、各種ポリマー等に対応します。さらに粘度の高い薬液の塗布も可能です。（薬液特性によります。）必要最小限の面に塗布する為、スピンコーティングのような薬液の無駄がありません。ノズル移動型マルチパス・スキャン方式で大型試料にも対応します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター
セル方式のOGS量産用スプレーコーター。 ガラスキャリアに化学強化済みのガラス基板（個片）を張り合わせ、複数個取りの状態でOC1などのレジストコーティングを自動で行う量産用装置。 レジスト膜厚２um前後で±5%(個片）のユニフォーミティを実現し、OGS量産プロセスの歩留まり向上に貢献しています。 ガラス基板（キャリア）サイズ 550 X 650 (mm）まで対応した全自動スプレーシステム。基板のLD/ULDは多軸ロボット。
機能薄膜コーティングの開発・試作を提案。（コーティング装置を購入せず小ロットの稀少液剤からでも、薄膜形成の開発・試作が可能）
平面のみならず、立体形状のデバイスの薄膜コーティングを試作ができます。 稀少コーティング液材で、成膜の可否を確認したい場合でも、お尋ねください。 更に数枚から大ロットまで薄膜形成の塗布受託もしております。 研究・開発から、生産に至るまで一貫した技術支援を実施しています。 凹凸・立体（３D）形状に対しての塗布に、初めてトライする場合や、既に実施している膜形成に問題が有る場合、その他コーティングに関するお困りのことがございましたら、ご連絡をいただければ解決のお手伝いをさせていただきます。 お客様の「レンタル試作課・開発課」としての活動を是非ご利用ください。 電子デバイス・エネルギー・MEMS・半導体業界に数多くの実績があります。 つくば産業技術総合研究所様や信州大学様とも産学連携するほか、数多くの研究試作支援を実施しています。 現在、湘南藤沢研究所で活動をしています。 ※下記、弊社ホームページのお問合せページから、ご連絡、お尋ね、ご相談ください。
長年の試作コーティング技術＆データベースで、お客様のニーズに お応えできるコーティング装置(スプレーコーター)をご提案。
スプレーコータによるコーティングは、まずは試作サンプリングから実施させて頂きます。 お客様の研究開発のテーマがスプレーコーターに適合するのかどうかの確認をさせて頂きます。 材料の選定や難しい条件設定など、お客様の研究開発の支援を試作を中心に実施させて頂きます。 開発が進み、生産・量産の為に装置が必要になった場合に、初めて弊社のスプレーコータをご提案します。 つまり、研究、開発の段階では装置を購入ことなくコーティングの試作・確認をすることができるのです。 初めての研究開発をする場合にも、無駄な投資をすることなく高水準な開発を進めることができます。 開発の諸条件など、幅広いパラメータの設定にお困りの場合には、条件確定のために試作サンプリングを御利用ください。 薄膜コーティング装置は小型から大型まで、R&D用から量産用まで、お客様のご意向にお応えする形にカスタマイズし、ニーズにフィットした特注仕様で製作をしています。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連絡・お尋ね・ご相談いただけます。
立体構造デバイス用 インライン式スプレーコーター
MEMS、SAWデバイス、バワーデバイス、カーエレクトロニクスセンサーなどの電子デバイスのために、インライン式スプレーコータを開発しました。 試作から量産で培ったコーティング技術やノウハウを盛込んだ装置は、お客様のニーズに沿った最適なフォトレジストや保護膜、その他の機能膜処理を可能にします。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連絡・お尋ね・ご相談いただけます。
