【半導体向け】スムーズフローポンプ XPL
高精度な薬液供給で、半導体製造の品質向上に貢献!
半導体業界では、高品質な製品を安定的に製造するために、薬液の正確な供給が不可欠です。特に、微細化が進む中で、薬液の純度を保ち、脈動による流量変動を抑えることが重要になります。不適切な薬液供給は、製品の歩留まり低下や品質劣化につながる可能性があります。スムーズフローポンプ XPLは、脈動のない連続一定流を実現し、高精度な薬液供給を可能にします。 【活用シーン】 ・薬液供給 【導入の効果】 ・製品品質の安定 ・歩留まり向上 ・TCO削減
- 企業:株式会社タクミナ
- 価格:応相談