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高速昇温、高速冷却！金属アルミに近い熱伝導で、耐腐食性に優れています
ワッティーが提供する『窒化アルミ製セラミックヒータ（Hi watty）』は、 半導体製造装置にご使用いただけます。 純日本製高性能ヒータを使用しており、室温から600℃まで5秒で昇温。 製作可能寸法は130×130mmまたはΦ130mm以下で、カスタムが基本と なっています。 【特長】 ■5秒で600℃ 純日本製高性能ヒータ ■高速昇温、高速冷却 ■金属アルミに近い熱伝導 ■熱膨張が小さい ■電気絶縁性が高い ■優れた耐腐食性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ▼お問い合わせ先 TEL：相模原事業所 042-704-5352 MAIL：info@watty.co.jp
半導体や電気自動車（EV）などの開発分野でも採用！各種加熱用途に対応する【セラミックヒーター】
小型で高温加熱に適した、（１）「マイクロセラミックヒーター」と 立ち上がりの速さに特長を持つ、（２）「小型窒化アルミヒーター ウルトラミック(Ｒ)」、 用途や求められる加熱特性に応じてお選びいただけます。 （１） ■ マイクロセラミックヒーター（小型高温タイプ） アルミナ基板上に発熱体を形成した小型ヒーターで、500℃・600℃・最高1000℃まで対応可能なシリーズを揃えています。 最小5mm角のコンパクトなサイズでありながら高温域での使用に対応しており、限られたスペースでの加熱用途に適しています。 （２） ■ 小型窒化アルミヒーター ウルトラミック(Ｒ)（高速昇温タイプ） 熱伝導性に優れた窒化アルミ基板を使用したヒーターで、400℃・600℃に対応可能なシリーズを揃えています。 立ち上がりが速く、温度変化への追従性に優れており、急激な温度変化を伴う用途にも適しています。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
