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豊富なカスタマイズ！耐薬品性（腐食性ガス、ほとんどの溶剤、酸など）に優れています
『ME501/ME505』は、ピエゾ抵抗方式を採用したセラミック圧力センサです。 レーザー調整可能なPTC抵抗によって熱補償されており、 セラミックの使用により、全領域で高い直線性を確保。 ヒステリシスの影響を最小限に抑えた測定が可能です。 Al2O3セラミックにより耐薬品性に優れています。 【特長】 ■優れた耐久性、腐食・磨耗性 ■絶対圧の測定 ■熱補償 ■豊富なカスタマイズ ■幅広い測定範囲 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高い堅牢性を有しているため、船舶など過酷な屋外環境下での水位測定に適しています
『ME500』は、ピエゾ抵抗方式を採用した圧力センサです。 レーザー調整可能なPTC 抵抗器による熱補償されており、セラミック製で あることから、全領域で高い線形性を実現。Al2O3(アルミナ)セラミック製で サファイア仕様にも対応可能です(応相談)。 そのため、優れた耐薬品性・堅牢性・生体親和性に優れています。 半導体製造装置や食品製造装置に使用する各種溶液、アルカリ性液体、 腐食性ガスなどの流量の計測が可能になります。 【圧力レンジ】 ■0.5～800[bar] ■7～11,600[psi] ■0.05～80[MPa] ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
高い信頼性が求められる半導体・真空プロセス用途に好適な製品です！
『ME600』は、ピエゾ抵抗方式を採用したセラミック圧力センサです。 厚膜技術によりホイーストンブリッジをセラミックダイアフラムの片面に 直接形成。これにより、高い安定性と優れた再現性を実現しております。 ダイアフラムと外周支持部が一体となったモノリシック構造を採用しており、 接合部を持たないため、圧力負荷に強く、高い信頼性と長寿命を 実現しています。 【特長】 ■出力：差動 mV/V ■製品径：φ18.0mm ■優れた耐腐食性・耐薬品性・機械的強度・生体適合性・摩耗性 ■Al2O3(アルミナ)96％ ■ゲージ圧対応 ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
アンプ内蔵出力のセラミック製 媒体隔離型圧力センサモジュールです。
フラッシュマウント型のセラミック圧力センサで、優れた耐腐食性を持つ圧力センサモジュールです。 mV出力の「CPM」とアンプ内蔵型「CPA」に分かれております。
mV出力 セラミック製 媒体隔離型圧力センサモジュールです。
フラッシュマウント型のセラミック圧力センサで、優れた耐腐食性を持つ圧力センサモジュールです。 mV出力の「CPM」とアンプ内蔵型「CPA」に分かれております。
広い動作温度範囲！耐薬品性（腐食性ガス、ほとんどの溶剤など）に優れたセンサ
静電容量方式を採用した『ME550』は、60mbarという非常に低い 圧力の測定に適したセンサです。 高い耐圧を特長とし、半導体製造装置をはじめ、農業用計測装置や 気象用計測装置などのアプリケーションに好適。 Al2O3セラミックにより耐薬品性（腐食性ガス、ほとんどの溶剤、 酸など）に優れています。 【特長】 ■静電容量方式を採用 ■耐化学薬品性（耐酸性・耐アルカリ性） ■機械的堅牢性 ■広い動作温度範囲 ■超低圧測定：0～60mbar ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Φ9mmのコンパクトサイズであるため、省スペース製品へ搭載が可能！
『ME910』は、ピエゾ抵抗原理に基づいて動作するモノリシック 圧力センサです。 Φ9mmのコンパクトサイズであるため、省スペース製品へ搭載が可能。 Al2O3 セラミックは耐薬品性に優れているため、腐食性ガス、 溶剤や酸などの測定対象に直接さらすことができます。 また、モノリシック構造であるため、O-ringを使用することで、プラスチック または金属性のケースに直接センサを取り付けることが可能です。 【特長】 ■優れた耐久性、腐食・磨耗性 ■Φ9mmのコンパクトサイズ ■公称圧力：10,20,50,100bar(圧力範囲カスタム可能) ■動作温度範囲：-40 ～ 125℃ ■差動 mV/V 信号出力 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
厚膜ホイートストンブリッジとPTC抵抗器による温度補償により、高い安定性と再現性を確保！
『ME657』は、「小型化」「高信頼性」「過酷環境対応」を同時に 実現する超小型セラミック圧力センサです。 半導体装置や真空・ガスプロセスで求められる、限られたスペースでの 高圧・腐食性ガス・水素環境下の長期安定計測に対応。 Al2O3(アルミナ)セラミックダイヤフラムにより腐食や水素脆化を 防止し、金属ダイアフラムで問題となる劣化やドリフトを抑制します。 【特長】 ■差動mV/V出力 ■φ12.85mmの小型圧力センサ ■優れた耐腐食性・耐薬品性・機械的強度・生体適合性・摩耗性 ■ゲージ圧対応 ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
