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セラミック圧力センサ(温度計測) - 企業1社の製品一覧

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静電容量式セラミック圧力センサ『ME550』

広い動作温度範囲!耐薬品性(腐食性ガス、ほとんどの溶剤など)に優れたセンサ

静電容量方式を採用した『ME550』は、60mbarという非常に低い 圧力の測定に適したセンサです。 高い耐圧を特長とし、半導体製造装置をはじめ、農業用計測装置や 気象用計測装置などのアプリケーションに好適。 Al2O3セラミックにより耐薬品性(腐食性ガス、ほとんどの溶剤、 酸など)に優れています。 【特長】 ■静電容量方式を採用 ■耐化学薬品性(耐酸性・耐アルカリ性) ■機械的堅牢性 ■広い動作温度範囲 ■超低圧測定:0~60mbar ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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