【半導体ウェーハ処理向け】MBW Spider
恒温槽校正の効率化!温度センサー配置を最適化
半導体ウェーハ処理業界では、製造プロセスの品質管理のため、恒温槽内の温度・湿度の正確な測定が不可欠です。特に、ウェーハの均一な処理には、槽内環境の正確な把握が重要であり、温度分布の均一性が求められます。不適切な温度管理は、ウェーハの品質低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。MBW Spiderは、恒温恒湿槽の校正時に温度センサーを最適な位置に配置するための治具です。これにより、槽内温度分布の正確な測定を可能にし、ウェーハ処理の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハ処理工程における恒温槽の校正 ・温度・湿度管理が必要な半導体製造プロセス ・品質管理部門における温度測定の効率化 【導入の効果】 ・槽内温度分布の正確な把握による品質向上 ・校正作業の効率化 ・測定データの信頼性向上
- 企業:株式会社テクネ計測
- 価格:応相談