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超清浄・コンパクトケミカルポンプ（低流量用）/ダイアフラムポンプ
高純度薬液を低流量で吐出する使用で高い実績と信頼！ 100℃までの薬液を毎分20リットル吐出できるエア駆動ダイヤフラムポンプ 【特徴】 ○調節可能なマフラーは高背圧/低流量でも安定した運転を実現 ○最高使用温度：100℃ ○最大吐出圧力：0.41MPa ○最大吐出量：20L ○2重のPFAダイアフラム ○接液部はPTFE/PFA ○長寿命ダイアフラム ○静かな作動 ○エアまたは窒素による安全運転 ○クイックリリースベースによる簡単な取り付け ○クリーンルームでの組立て、テスト、梱包 ●詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい。
ダイアフラムポンプ
【概要】 DP-Fi/□/Rシリーズは、特殊ラバーサスシールの反発を利用して樹脂の温度変化等によるタイロッドの緩みを軽減し、ワンピースダイアフラム・樹脂センターロッドなどノンメタル化を実現しました。さらに液剤出入り口をインサイドにすることでマニフォールドが必要なくなり、その分コンパクトになり薬液供給システムや薬液循環装置に最適です。また、バルブやシート、切替部などケーシングを分解せずに消耗品の取替えができます。（CMPスラリーには使用できません) ★詳細は、資料をご請求下さい★
超清浄・コンパクトケミカルポンプ（中流量用）/ダイアフラムポンプ
110度までの薬液を毎分36リットル排出できるダイアフラムポンプ 【特徴】 ○最高使用温度：100℃ ○最大吐出圧力：0.41MPa ○最大吐出量：36L ○2重のPFAダイアフラム ○接液部はPTFE/PFA ○メンテナンスコスト減少（メンテナンス期間の長期化を実現） ○長寿命ダイアフラム ○クリーンルームでの組立て、テスト、梱包 ●詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい。
超清浄・コンパクトケミカルポンプ/ダイアフラムポンプ MAXIM PUMPS
半導体産業で使用されている腐食性のある薬品や高清浄な薬品に最適な エア駆動ダイアフラムポンプ 【特徴】 ○180℃までの薬液を毎分50リットルで循環および移送ができる ○小型で大吐出量 ○PTFE/PFAダイアフラム ○金属部品およびエラストマーＯリングは一切使用していない ○エンスト防止シャトルバルブ ○コントローラ不要 ○2億サイクルの長寿命 ○現場でのメンテナンスが可能（検査も容易） ○低価格・短納期 ●その他機能や詳細は、カタログダウンロード下さい。
超清浄・コンパクトケミカルポンプ/ダイアフラムポンプ
高い評価を得ているマグナム610を技術的に進化させた 高清浄ダイアフラムポンプ 【特徴】 ○110℃までの薬液を毎分41リットルで循環および移送ができる ○セラミック製シャトルバルブ、調節可能なマフラー、ねじ式ヘッド、 フレックスが発生しないＰＴＦＥダイアフラム等を採用 ○金属部品およびエラストマーＯリングは一切使用していない ○現場でのメンテナンスが可能 ○低価格・短納期 ○クリーンルーム（クラス1000）での組立て、テスト、梱包 ●その他機能や詳細は、カタログダウンロード下さい。
軽量・コンパクト！エア切替式／本質防爆仕様のダイアフラムポンプ
『NDP-5/10/15シリーズ』は、軽量・コンパクトな本質防爆仕様のダイアフラムポンプです。 【特長】 ■スラリー液が搬送できる ■動力は圧縮エアーだから、電気工事が不要 ■お客様の用途に合わせて材質やサイズの選定ができる。（組み合わせは150種類以上) 【主な仕様】 ○常用エア圧力：0.2～0.7MPa ○最高吐出圧力：0.7MPa ○スラリー限界(最大通過粒子径)：1mm以下（DP-10/NDP-15シリーズ） ※詳しくは資料ダウンロード、もしくはお問い合わせください。
本質防爆仕様のエアー駆動ダイアフラムポンプ、基本機種150種以上を紹介したカタログを進呈中。
手のひらサイズの超小型モデル5シリーズから大型の80シリーズまで9種、接液部材質9種、さらにダイアフラム材質は7種あり、基本モデルだけで150種類以上をご用意。使用条件に適した機種選定が可能で、引火性の液剤や研磨要素のある液剤も移送できます。 【特長】 ■動力が圧縮空気だから安全で、防爆対策が不要 ■スラリー液（固形物・研磨性の高い液体）も移送可能 ■エアレギュレーターの開閉操作で吐出量の調整・先止めが可能 ■完全自吸式だから呼び水が要らない ■メカニカルシールがないから液漏れや空運転による故障の心配がない ■構造がシンプルだからメンテナンスが簡単、アフターサービスも万全。 部品数が少なくメンテナンスが容易。リセットボタン装備でダウンタイムを短縮。 【用途例】 廃液/汚泥の回収、工場排水の移送、アルコール/エタノール移送、潤滑油・作動油の移送、ロールコーターへ塗料供給、フィルタープレスへの供給 ※詳しくはPDFダウンロード・お問い合わせください。 【カタログダウンロード】よりダイジェスト版をご覧になれます。
