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ダイアフラムポンプ
【概要】 DP-Fi/□/Rシリーズは、特殊ラバーサスシールの反発を利用して樹脂の温度変化等によるタイロッドの緩みを軽減し、ワンピースダイアフラム・樹脂センターロッドなどノンメタル化を実現しました。さらに液剤出入り口をインサイドにすることでマニフォールドが必要なくなり、その分コンパクトになり薬液供給システムや薬液循環装置に最適です。また、バルブやシート、切替部などケーシングを分解せずに消耗品の取替えができます。（CMPスラリーには使用できません) ★詳細は、資料をご請求下さい★
軽量・コンパクト！エア切替式／本質防爆仕様のダイアフラムポンプ
『NDP-5/10/15シリーズ』は、軽量・コンパクトな本質防爆仕様のダイアフラムポンプです。 【特長】 ■スラリー液が搬送できる ■動力は圧縮エアーだから、電気工事が不要 ■お客様の用途に合わせて材質やサイズの選定ができる。（組み合わせは150種類以上) 【主な仕様】 ○常用エア圧力：0.2～0.7MPa ○最高吐出圧力：0.7MPa ○スラリー限界(最大通過粒子径)：1mm以下（DP-10/NDP-15シリーズ） ※詳しくは資料ダウンロード、もしくはお問い合わせください。
