【半導体製造向け】オールチタン製プレート熱交換器
薬液対応に優れた、高性能・高耐圧・高耐食熱交換器
半導体製造業界では、高純度な薬液の精密な温度管理が、製品の品質と歩留まりに大きく影響します。特に、腐食性の高い薬液を使用するプロセスでは、装置の耐久性と安全性が極めて重要となります。不適切な熱交換器の使用は、薬液の汚染や装置の早期劣化、さらには生産ラインの停止といったリスクにつながる可能性があります。当社の『オールチタン製プレート熱交換器』は、部材・接合材全てチタン製であり、優れた耐食性を発揮するため、こうした課題に対応します。 【活用シーン】 ・各種薬液の精密な温度管理 ・高純度薬液プロセスの安定稼働 ・腐食性流体を使用するライン 【導入の効果】 ・薬液による腐食リスクの低減 ・高い耐久性による長寿命化 ・金属イオンの溶出を抑えた高純度維持
