チャンバー光導入機 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

真空フィードスルー『VFT シリーズ』

350 ℃までの高温対応！真空チャンバー用の真空フィードスルー

『VFT シリーズ』は、半導体プロセスにおける光学モニタリング および薄膜蒸着のエンドポイントの検出を含む各種の 超高真空アプリケーション用アクセサリです。 真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くために使用。 コア径200μm、400μm、600μm、1000μmの光ファイバでご利用可能です。 【特長】 ■NEMA 筐体および高圧アプリケーション内で適切に機能 ■10^－10 Torr 真空に対応 ■350℃までの高温対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。