デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer
包括的な通信・制御！コスト削減に寄与する汎用性に優れたマスフローコントローラ
『Aera Transformer』は、CAD、PVD、拡散、エッチングなど様々な アプリケーションに適したデジタルマスフローコントローラです。 当製品が生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優れた均質性とともに 高い再現性を誇ります。 優れた応答性、正確性、再現性によって、装置の生産性と生産歩留まりが 向上します。 【特長】 ■マルチガス・マルチレンジ ■高速応答性 ■100％メタルシール・高純度設計 ■DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ＩＢＳ
- 価格：応相談
