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デジタルマスフローコントローラ(液晶) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

デジタルマスフローコントローラの製品一覧

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高温マスフローコントローラ MC-3000L-TC series

多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローコントローラMC-3000L seriesの高温対応モデルです

独自の特許技術で1.0%F.S.の高精度を実現した、1.125インチサイズの高温用デジタルマスフローコントローラです。 水蒸気などの高温ガス制御に最適です。 【特長】 ○RoHS対応 ○使用温度120℃、ベーキング温度150℃(非通電)が可能 ○デジタルインターフェイスRS-485を装備 ○独自特許技術のセンサを搭載 ○高温対応・高精度のデジタルMFC ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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  • 真空機器
  • 流量制御
  • デジタルマスフローコントローラ

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高性能マスフローコントローラ MC-3000L series

当社独自の自己温度補正方式(米国、日本特許)のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです

独自の特許技術で1.0%S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格(1.125インチ)に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ   (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証)、デジタル制御) ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○SEMI STD.の各種面実装に対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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