超小型デジタル圧力コントローラ AP160M/CV150シリーズ
AP160Mは、低真空から高真空まで真空プロセス装置に最適です
AP160Mは、比例式ソレノイドバルブの開度をアナログ的に制御することによって、目的配管内の圧力を制御するものです。本装置は、特に半導体に使われるようなクリーンガスに対応できるよう、圧力センサや、接ガス部はオールメタルでできております。CV150シリーズは、比例式ソレノイドバルブの開度をアナログ的に制御することによって、目的配管内の圧力を制御するものです。本装置には、圧力センサは内蔵されておらず、外付けの圧力センサや流量センサを使うことでセンサ内蔵型とは、異なったファンクションを実現できます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社エー・シー・イー
- 価格：応相談
