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トランジスタ3次元シミュレータ×クロスライトソフトウェアインク日本支社 - 企業1社の製品一覧

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薄膜トランジスタの3次元シミュレータ

薄膜トランジスタの3次元解析ツール

プロセスシミュレータCSupremとデバイスシミュレーターAPSYSを利用した3次元計算の概要を紹介。MaskEditorによるパターン作成、このパターンをもとにプロセスシミュレーション、プロセスシミュレーション結果をもとに薄膜トランジスタ(TFT)の電気的、光的特性をデバイスシミュレーションし結果プロットを表示。

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