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ドライスクロールポンプ(半導体) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

ドライスクロールポンプの製品一覧

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ドライスクロールポンプ IDP-3

オイルフリー、コンパクトデザイン、ハイパフォーマンスを実現したドライポンプ

「IDP-3」は、革新的なハーメチックデザインにより、モータ及びベアリング部が 真空スペースの外側に位置するため、吸引されたガスから完全に隔離すること ができます。 システムへのインテグレーションが容易で、多種多様なアプリケーションに対応致します。 バリアン特許のスクロール技術を用い、軽量、コンパクトながら排気速度60L/m、 到達圧力33Paを達成したコスト効率の高いドライポンプです。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

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真空ポンプ nXDSドライスクロールポンプ

Edwards nXDSシリーズはドライ真空ポンプの新時代を切り拓きます。

真空ポンプのリーディングカンパニーであるEdwardsは、新しいnXDSドライスクロールポンプを開発しました。 優れたポンプ性能と真空性能を備え、最先端の設計を取り入れたEdwards nXDSシリーズは、クラス最高レベルのポンプです。 「nXDS」は、他のポンプと比べておよそ1/20の静音性を実現しています。 インテリジェントな制御機能と最長5年の整備間隔により、所有コストを削減することができ、現在の最新技術のニーズを満たすのに最適な小型ドライ ポンプです。 【特長】 ○高度なスクロール方式とチップシール技術 →クラス最高の真空性能を実現 ○52dB(A)未満の静音性 →環境への影響を最小限に抑えることが可能 ○簡単操作で使いやすいインテリジェントな制御機能 ○完全密封型により潤滑油汚染のない真空環境を実現 ○6、10、15、および 20m?h??を準備 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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