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地球環境にベストマッチのルーツ式！低コストのドライ真空ポンプ
『FT6/CT6シリーズ』は、ルーツ式のドライ真空ポンプです。 パッケージレスで低コスト。ロータリーポンプの取替に最適です。 「CT6シリーズ」は水冷式、「FT6シリーズ」は空冷式です。 また「CT6シリーズ」をパッケージ化した「CT6-PCシリーズ」や メカニカルブースタと組み合わせた「MCT7シリーズ」も ラインアップしています。 【特長】 ■6段ルーツ式ドライ真空ポンプ ■オイルフリー・接ガス部ドライでクリーン排気 ■高真空・高効率・省エネ ■電源リサイクルによる性能違いを解消 ■パッケージ式は各種モードで運転可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【お問い合わせは正規代理店のエイチアールディーまで！】
酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(200μm)採用。独自の立形構造により凝縮液の回収を容易に。
ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・回収することができます。 また設置面積が小さいため、装置への組み込みにも適しています。 【特長】 ■200μ m の厚膜フッ素樹脂コーティングに対応 ■大気圧から締切運転まで安定した運転が可能 ■120°Cまでの高温ガスの吸引が可能 ■メカニカルブースターとの組み合わせにより幅広い真空域に対応 ■電動機は防爆対応も可能 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくかお気軽にお問い合わせください。
CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
水封式真空ポンプからの置換えに適したタフなドライ真空ポンプ
◆化学業界において、 水封式真空ポンプからドライポンプへ 置き換える際に、 様々な吸引物により、 一般的なドライ真空ポンプでは 不具合が発生することがありますが、 当社のドライ真空ポンプは 吸引物が内部に堆積しにくい構造のため、 安定した連続運転が可能です。 ◆一般的なドライ真空ポンプでは、 少量でも内部に 凝固性ガス・粉体・生成物・液体（凝縮性ガス）を 吸引すると、 故障の原因となりますが、 当社のドライ真空ポンプは 独自設計のスクリューロータにより、 吸引物を排出します。 ◆オプションのクリーニングセットにより、 設置した状態のまま、 内部に残った吸引物を 洗い流す作業が可能です。 ◆オプションのシール・パージセットにより、 軸受・ギア等への汚染を防ぎます。 ◆1Pa以下の到達圧力が得られるので、 メカニカルブースタと水封の組合せでご使用の場合は、 ドライポンプ単体にまとめることができ、 簡略化・省スペースになります。 ◆設置場所にて、分解作業（状態確認・消耗品交換・内部洗浄）ができ、 ランニングコストを最小限に抑えます。
