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ドライ真空ポンプ(メカニカル) - 企業3社の製品一覧

製品一覧

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ドライ真空ポンプ『FT6/CT6シリーズ』

地球環境にベストマッチのルーツ式!低コストのドライ真空ポンプ

『FT6/CT6シリーズ』は、ルーツ式のドライ真空ポンプです。 パッケージレスで低コスト。ロータリーポンプの取替に最適です。 「CT6シリーズ」は水冷式、「FT6シリーズ」は空冷式です。 また「CT6シリーズ」をパッケージ化した「CT6-PCシリーズ」や メカニカルブースタと組み合わせた「MCT7シリーズ」も ラインアップしています。 【特長】 ■6段ルーツ式ドライ真空ポンプ ■オイルフリー・接ガス部ドライでクリーン排気 ■高真空・高効率・省エネ ■電源リサイクルによる性能違いを解消 ■パッケージ式は各種モードで運転可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【お問い合わせは正規代理店のエイチアールディーまで!】

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【化学業界向け】ドライ真空ポンプ

水封式真空ポンプからの置換えに適したタフなドライ真空ポンプ

◆化学業界において、 水封式真空ポンプからドライポンプへ 置き換える際に、 様々な吸引物により、 一般的なドライ真空ポンプでは 不具合が発生することがありますが、 当社のドライ真空ポンプは 吸引物が内部に堆積しにくい構造のため、 安定した連続運転が可能です。 ◆一般的なドライ真空ポンプでは、 少量でも内部に 凝固性ガス・粉体・生成物・液体(凝縮性ガス)を 吸引すると、 故障の原因となりますが、 当社のドライ真空ポンプは 独自設計のスクリューロータにより、 吸引物を排出します。 ◆オプションのクリーニングセットにより、 設置した状態のまま、 内部に残った吸引物を 洗い流す作業が可能です。 ◆オプションのシール・パージセットにより、 軸受・ギア等への汚染を防ぎます。 ◆1Pa以下の到達圧力が得られるので、 メカニカルブースタと水封の組合せでご使用の場合は、 ドライポンプ単体にまとめることができ、 簡略化・省スペースになります。 ◆設置場所にて、分解作業(状態確認・消耗品交換・内部洗浄)ができ、 ランニングコストを最小限に抑えます。

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ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ

CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック/ULVAC】

LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能(オプション)です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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