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ドライ真空ポンプ(メカニカルブースター) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

ドライ真空ポンプの製品一覧

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腐食性ガス対応│厚膜フッ素樹脂コーティング縦型ドライ真空ポンプ

ステンレスが溶ける環境でも止まらない。200μm厚膜PFAコーティングと縦型構造で、高腐食性ガスの吸引プロセスに長期安定稼働を。

「腐食性ガスでポンプの劣化が早い」「凝縮液の処理に手間がかかる」 そのお悩み、TRVシリーズが解決します。 ■ ステンレスでは限界な腐食性ガスへの対応 酸性・アルカリ性の高腐食性ガスにも耐えるPFAフッ素樹脂を、200μmの厚膜でコーティング。 薄膜品と異なりピンホールレス相当の品質を実現し、腐食リスクを大幅に低減します。 ■ 凝縮液を「自然に」排出する縦型構造 ガス流路を上から下へ配置した独自の縦型設計により、ミスト・凝縮液が吐出口へ自然流下し、大気圧下で容易に排出・回収できます。 液溜まりによるトラブルを防ぎ、メンテナンス負荷を軽減します。 ■ 過酷な運転条件にも安定対応 ・大気圧〜締切運転まで安定稼働 ・120℃までの高温ガスに対応 ・メカニカルブースターとの組み合わせで幅広い真空域をカバー ・電動機は防爆対応も可能 ・設置面積が小さく、装置への組み込みに好適 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくかお気軽にお問い合わせください。 

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ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ

CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック/ULVAC】

LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能(オプション)です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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