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ドライ真空ポンプ(ルーツ型) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年05月06日~2026年06月02日
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ドライ真空ポンプの製品一覧

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VP型真空ポンプ

業界のニーズの多様化に対応しつづける信頼のVP型真空ポンプ

VP型真空ポンプは、他社に類の無い冷却技術を採用した多段ルーツ式ドライ・真空ポンプです。 ルーツ式で締切り運転を実現し、高真空ポンプを可能としたYKSの直接口-ター冷却方式は、独自の技術を基に研究開発された新技術の冷却方式です。 ルーツ式真空ポンプはローターとローター及びケーシングがわずかなクリアランスを保ち無接触で回転しています。その為に最大の特徴である”ドライ・オイルフリー型”となっています。 しかし、無接触で回転するためのわずかなクリアランスが、ガスの圧縮熱によって、ローター等が圧縮熱を除去しない限り、熱膨張によって減少、ついには接触することになります。 弊社の開発した直接口-ター冷却方式はローター内部を冷却液で直接冷却する構造を採用している為、常に一定のクリアランスと安定した真空度を保つと同時に数々の優れた特徴を提供しています。 従来の冷却方式では熱膨張率の大きいステンレス製の真空ポンプの製作は、この熱膨張の大きさの為、製作が不可能でした。 当社では直接冷却方式の優れた特徴を生かし、このステンレス製の真空ポンプの開発に成功しました。腐食性ガスの吸引用として優れた性能を提供しています。

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ドライ真空ポンプ『MU-PE/HEシリーズ』

- 省エネ「だけじゃない」 - 軽負荷からエッチングまで幅広い用途で使用可能

『MU-PE/HE シリーズ』は、軽負荷からエッチングまで幅広い用途で使用可能な ルーツ型ドライ真空ポンプです。 HOT-N2パージを搭載したMU-HEシリーズ (※オプション対応) 【仕様】 ■プロセス耐性 ■消費電力0.6kW ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください

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ドライ真空ポンプ『MU-XE シリーズ』

世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現!あらゆる製造装置に組み込みが可能

『MU-XE シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.25kW ■A3以下の230×450mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ドライ真空ポンプCRシリーズ

排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能【アルバック/ULVAC】

ドライ真空ポンプCRシリーズは、空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。 排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。 冷却水および窒素ガス不要。ランニングコストの低減に寄与します。 【ラインナップ】 ○CR16A ○CR30A ○CR60A ○CR300A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ 「KTS型」

省電力・メンテナンスフリー!クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ    

「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。   【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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ドライ真空ポンプECO-SHOCK

消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【アルバック/ULVAC】

ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。 【特徴】 ○ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%削減可能 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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ドライ真空ポンプECODRY 25 / 35 plus

小型で軽量、低騒音・低振動のドライ真空ポンプ。クリーンな真空を生成できます。

低騒音・低振動のため研究開発や分析機器での使用に最適なマルチルーツ型の小型ドライ真空ポンプ。先端のテクノロジーを使用した革新的なドライ真空ポンプです。ターボ分子ポンプのバックポンプとしての使用にも適しています。 非接触ローターを採用しており、パーティクルが発生しません。また、排気チャンバーはオイルフリーで、クリーンな真空を生成できます。 約5年間メンテナンス不要です。

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油や水を使わない環境対応型!アンレット空冷式ドライ真空ポンプ

エンドレス方式で省エネ・低騒音!軸封はドライシール方式

当社で取り扱う、株式会社アンレットの「空冷式ドライ真空ポンプ」について ご紹介いたします。 内部潤滑剤を使用しないため高真空側への油の逆流がなく、きれいな真空が 得られます。また、吐出側にオイルミストの飛散がなく、作業環境及び 作業者の健康を守ります。 大気圧からの運転が可能で、広い圧力範囲にわたり性能が安定しています。 【特長】 ■エンドレスケーシングで高効率・低騒音 ■分割ケーシングのため分解及び内部点検が容易 ■ロータとシャフトが一体形の三葉ルーツ式ロータのため低騒音・低振動 ■摩耗がないため長期連続運転ができ、維持管理も簡単 ■凝縮性気体のドレン回収も可能 ■構造が簡単で耐久力が抜群 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、代理店の株式会社京二にお問合せ下さい

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大学の研究室にも多数納入実績あり!空冷ドライ真空ポンプ KTS型

省電力・メンテナンスフリー!クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ

「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。   【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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クリーンプロセスでの御使用に最適!空冷ドライ真空ポンプ KTS型

省電力・メンテナンスフリー!クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ

「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】   ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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