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ドライ真空ポンプ(内部構造) - 企業4社の製品一覧

製品一覧

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【化学業界向け】ドライ真空ポンプ

水封式真空ポンプからの置換えに適したタフなドライ真空ポンプ

◆化学業界において、 水封式真空ポンプからドライポンプへ 置き換える際に、 様々な吸引物により、 一般的なドライ真空ポンプでは 不具合が発生することがありますが、 当社のドライ真空ポンプは 吸引物が内部に堆積しにくい構造のため、 安定した連続運転が可能です。 ◆一般的なドライ真空ポンプでは、 少量でも内部に 凝固性ガス・粉体・生成物・液体(凝縮性ガス)を 吸引すると、 故障の原因となりますが、 当社のドライ真空ポンプは 独自設計のスクリューロータにより、 吸引物を排出します。 ◆オプションのクリーニングセットにより、 設置した状態のまま、 内部に残った吸引物を 洗い流す作業が可能です。 ◆オプションのシール・パージセットにより、 軸受・ギア等への汚染を防ぎます。 ◆1Pa以下の到達圧力が得られるので、 メカニカルブースタと水封の組合せでご使用の場合は、 ドライポンプ単体にまとめることができ、 簡略化・省スペースになります。 ◆設置場所にて、分解作業(状態確認・消耗品交換・内部洗浄)ができ、 ランニングコストを最小限に抑えます。

  • 真空ポンプ

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スクリュー式ドライ真空ポンプ

低速運転により軸受・軸シール・タイミングギヤ等を長寿命化。高信頼性で分解・組立も容易

当社では、独自のスクリュー形状(Queen Bee Screw)により 驚くべき低速(3600min-1/60Hz、3000min-1/50Hz)を実現した 『ドライ真空ポンプ』を設計・製造・販売しています。 化学・医薬、自動車・電子部品、半導体・液晶など幅広い分野で活躍。 各種ラインアップから用途に応じた製品をお選びいただけます。 【特長】 ■低速運転で軸受等の長寿命化のほか、低騒音化・低振動化を実現 ■凝縮液やダストがポンプ内部に滞留すること無く、スムーズに排気可能 ■シンプルな構造で分解・組立が容易 ■優れた到達圧力が得られ、広範な圧力領域で連続運転可能 ■接ガス部は特殊コーティングにより優れた耐食性を発揮 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • 工業炉

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乾燥装置用縦型ドライ真空ポンプ『TRVシリーズ』

縦型のダウンフロー構造により、凝縮液の発生に対して極めて強靭な乾燥装置用ドライ真空ポンプ

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。   【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形   ○温度上昇が低い  ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • その他ポンプ

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ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ

CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック/ULVAC】

LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能(オプション)です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • 真空ポンプ

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