半導体・FPD・太陽光発電向ドライ式真空ポンプ
半導体およびFPD/太陽光発電アプリケーションに最適なドライ式真空ポンプ！
弊社では各種方式の真空ポンプを自前で取り揃えておりますので、最適なソリューションをご提案致します。 ・スクリュー式 ・クロー式 ・ルーツ式 ・コンビネーション方式 世界各国のエレクトロニクス・半導体業界への納品使用実績も多数ございます。
ドライ真空ポンプ(半導体) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
更新日： 集計期間:2026年08月19日～2026年09月15日
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ドライ真空ポンプの製品一覧
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ハーシュプロセス向け多段ルーツポンプ「UltiDry」
Pfeiffer社のハーシュプロセス向け最新ドライポンプ
世界の半導体製造現場で実績を積むPfeiffer社(*1)製品から、最新のハーシュプロセス向けドライ真空ポンプ 【特徴】 ○持続可能、堅牢 ○多用途 ○省エネルギー ◯高吸気流量に対応 ○効率的なドライルーツ式 ＊1：PfeifferはBUSCH GROUPの1社です。BUSCH GROUPはBusch Vacuum Solutions、Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions、centrotherm clean solutionsの3社から成るグローバル企業です。
- 企業：日本ブッシュ株式会社
- 価格：応相談
ルーツ式ドライ真空ポンプ
接ガス部フッ素樹脂ライニング施工！ハロゲン系ガスや強酸性ガスの吸入に好適
『ルーツ式ドライ真空ポンプ』は、接ガス部にフッ素樹脂ライニングを 施工している製品です。 フッ素樹脂ライニング厚さは300μm以上で、ハロゲン系ガスや強酸性 ガスに対する耐久性があります。 精密仕上げ加工により、厚膜ライニングと極小クリアランスを実現。 半導体、製薬、化学、高機能材等の用途でご活用いただけます。 【特長】 ■接ガス部フッ素樹脂ライニング施工 ■フッ素樹脂ライニング300μm以上 ■ハロゲン系ガス、強酸性ガスの吸入に好適 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：サーフ工業株式会社
- 価格：応相談
高真空型ドライ真空ポンプ KHAシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。到達圧力(8kPa以下)での連続運転可能。
■到達圧力(8kPa以下)での連続運転可能。 ■運転真空度が高く、電子部品等の小部品の自動機(装着機等)に最適です。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
高真空型ドライ真空ポンプ KHH
オリオン機械/真空ポンプ。高真空1.3kPa[abs]の連続運転をドライで実現。
■到達圧力1.3kPa[abs]以下の状態で連続使用ができ、高真空を必要とする各種業界に最適です。 ■モータフランジ直結のコンパクトタイプです。 ■運転音が小さく長寿命です。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『SDEシリーズ』
あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！プロセス性能に特化
『SDEシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 独自のスクリュー形状で省エネを実現(X) 【ハーシュプロセス対応例】 ■Metal-Etch ■SA-CVD ■Metal-CVD ■PE-CVD ■LP-CVD ■ALD
小型ドライ真空ポンプ KM
オリオン機械/真空ポンプ。精密空調機サイド調整不要のフリーロータ方式を採用。
■サイド調整不要のフリーロータ方式を採用。 ■メンテナンスが容易。 ■無給油方式で油分を含まない為、作業環境や製品を油で汚さない。 ■ゴムまたはビニールホースを直接接続することが可能。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』
ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
大型標準ドライ真空ポンプ KRFシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。安心設計・低運転音を実現。環境対応次世代ポンプ。
■安心設計・環境対応、CEマーキング対応。 ■低運転音、静音化設計により、3dBの低減(従来比)。 ■長寿命、新材質ブレードの採用により10％アップ(従来比)。 ■RoHS指令対応。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
スクロール型ドライ真空ポンプ
小型・軽量 全圧力領域(大気圧～到達圧力) 軽分子ガスの排気が可能、完全オイルフリー
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
標準型ドライ真空ポンプ KRFシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。安全設計・低運転音・長寿命を実現。環境対応次世代ポンプ。
■安心設計・環境対応、CEマーキング対応。 ■低運転音、静音化設計により、3dBの低減(従来比)。 ■長寿命、新材質ブレードの採用により30％アップ(従来比)。 ■RoHS指令対応
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
コンビネーション型ドライ真空ポンプ CBXシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。2シリンダー2機能(真空ポンプ・ブロワ並列)方式。
■2シリンダー2機能(真空ポンプ・ブロワ並列)方式により、真空度60kPa以下の真空源、排気圧力60kPa以下の空気源として同時に独立して使用することができます。 ■従来のコンビネーションポンプに比べ、小型・軽量(当社比)。 ■また取扱いが容易です。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
コンビネーション型ドライ真空ポンプ CBFシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。安全設計・低運転音・長寿命を実現。環境対応次世代ポンプ。
■安心設計・環境対応、CEマーキング対応。 ■低運転音、静音化設計により、3dBの低減(従来比)。 ■長寿命、新材質ブレードの採用により30％アップ(従来比)。 ■RoHS指令対応
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
ベッカー（Becker） ドライ真空ポンプ 総合カタログ
ベッカーエアーテクノ社が取扱うロータリーベーン式ドライポンプの総合カタログです。
完全ドライ・オイルフリーの真空・ブロワー・コンビネーションの各種ドライポンプを多数掲載しています。 【掲載製品】 ○ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ ○ドライ真空ポンプ VT4シリーズ ○ドライ真空ポンプ VTLFシリーズ ○ドライブロワーポンプ DT4シリーズ ○ドライブロワーポンプ KDT3シリーズ ○ドライブロワーポンプ DTLFシリーズ ○ドライコンビネーションポンプ T4シリーズ ○ドライコンビネーションポンプ DVT3シリーズ ほか ◆◆カタログご希望の方は資料請求よりお問合わせ下さい◆◆ ?ダウンロードから一部ラインナップがご覧いただます?
コンビネーションパッケージ型ドライ真空ポンプ CBXPシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。パッケージシリーズ化による品揃えを充実。真空・ブロワ、真空・真空、 ブロワ・ブロワ等の各種組合せ。
■パッケージシリーズ化による品揃えを充実。真空・ブロワ、真空・真空、ブロワ・ブロワ等の各種組合せにより、19機種を取り揃えました。 ■低運転音を実現。当社従来比3～5dB低減しました。 ■実績ある標準型ポンプを搭載し、メンテナンス性が向上しました。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ ベッカー Becker VADS250
創業130年のドライ真空ポンプの老舗 Beckerベッカーのスクリュー式ドライ真空ポンプ メンテナンスフリーでランニングコスト低
創業130年 ドライポンプの老舗 Becker ベッカー スクリュー式真空ポンプ VADS250 ドライ・オイルフリー、メンテナンスフリーのスクリュー式真空ポンプ 吸込風量 290?/h 最大真空度 0.1 mbar インバーター内蔵のため外付けする必要なし 既設のオイルポンプからの置き換えや、複数台を１台に集約することでコストを抑えるなど、オイルを使用したくないクリーンな環境にも対応した次世代のポンプとしてさまざまな分野でお使い頂いております。 メンテナンス代も含めたトータルコストの削減が可能です。 お問い合わせ頂ければ、コストメリット算出のお見積りいたします。 ベッカーエアーテクノ（株）はドイツBecker GmbHの日本法人です。 真空ポンプ、コンプレッサー、ブロワーの大手専門メーカーとして、日本国内に4拠点（東京・大阪・つくば・広島）日本お客様のきめ細かなのニーズにお答えする販売・サービス・サポート体制でこれからもBeckerの誇る高品質な製品をお届けしてまいります。
スクリュー式ドライ真空ポンプ
低速運転により軸受・軸シール・タイミングギヤ等を長寿命化。高信頼性で分解・組立も容易
当社では、独自のスクリュー形状（Queen Bee Screw）により 驚くべき低速（3600min-1／60Hz、3000min-1／50Hz）を実現した 『ドライ真空ポンプ』を設計・製造・販売しています。 化学・医薬、自動車・電子部品、半導体・液晶など幅広い分野で活躍。 各種ラインアップから用途に応じた製品をお選びいただけます。 【特長】 ■低速運転で軸受等の長寿命化のほか、低騒音化・低振動化を実現 ■凝縮液やダストがポンプ内部に滞留すること無く、スムーズに排気可能 ■シンプルな構造で分解・組立が容易 ■優れた到達圧力が得られ、広範な圧力領域で連続運転可能 ■接ガス部は特殊コーティングにより優れた耐食性を発揮 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：大晃機械工業株式会社 陸上事業部
- 価格：応相談
