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ドライ真空ポンプ(負荷) - 企業1社の製品一覧

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ドライ真空ポンプ『MU-P/Hシリーズ』

省エネ「だけじゃない」!世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現

『MU-P/Hシリーズ』は、省エネでありながら、プロセス耐性に優れた ルーツ型ドライ真空ポンプです。 軽負荷から中負荷までのあらゆる製造装置に組み込みが可能です。 「MU-Hシリーズ」は、更なる耐プロセス性向上のため、HOT-N2パージの 搭載も可能です。 【特長】 ■プロセス耐性:ポンプ高温化、パージ増量 ■消費電力0.7kW:プロセス向けルーツ型ポンプ省エネタイプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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