ネガ型厚膜レジスト材料 - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

ネガ型厚膜レジスト材料『HTRシリーズ』

様々な形状のパターンが作製可能なネガ型厚膜レジスト材料です。

下記のように、良好な露光感度および透過率を有するネガ型厚膜レジスト材料です。 ■ 高感度：≧ 100 mJ/cm2 ■ 高透過率：≧ 90% (Ave. @380~780 nm) ■ さまざまな露光条件およびパターン形状に適用可能 厚さ：10〜50 μm、線幅：≧10 μm、露光輝線：g、h、i –line ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。