パターン検査装置 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

パターン検査装置

マスタ画像との比較で異物や欠陥を検出！位置自動補正やエリア別スペック設定機能を搭載したシステム

当製品は、マスタとなる正常な表面を登録し、検査画像と比較することで正確な判別を行うシステムです。 登録画像との比較により、画像表面に付着している異物、傷、汚、パターン欠陥を検出します。アライメントパターンの位置表示によるアライメントずれ検査や寸法検査を行い、異物等の面積・サイズ（最大径）を測定して良品/不良品を判別。検査結果データはファイリングして蓄積されます。また、プローバ（又はXYステージ）との連動による全表面移動検査や、位置ずれの自動補正が可能です。 【特長】 ■マスタ画像と検査画像の位置ずれを自動補正 ■画面エリア別に個別の判定条件を設定可能（最大10スペック） ■異物、傷、汚、パターン欠陥の検出および寸法検査に対応 ■検査結果データをファイリングして保存 ■プローバ（又はXYステージ）連動で全表面を移動検査 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。