ピエゾステージ(精密) - 企業2社の製品一覧
製品一覧
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ピエゾ/ステージ 「高性能ピエゾステージ」
堅牢なつくりで高剛性・高精度位置決め精度を誇ります。
Piezo System Jena(ピエゾシステムイエナ)社のピエゾアクチュエーターは堅牢なつくりで高剛性・高精度位置決め精度を誇ります。コンパクトなXYZ３軸ステージ、ティルトミラー、スタックタイプ対物レンズ用、スリット用ファイバースイッチなど幅広い分野にお使いいただいています。ストレンゲージセンサー、インダクティブセンサー、キャパシティブセンサー等を使用しフィードバック制御をおこなったモデルもございます。光学系のアライメントや干渉計・精密加工・精密計測・半導体関連装置などの高い位置精度が求められる分野において多数お使いいただいています。専用ドライバーも高性能･低ノイズ（3mVP-P）のため高い分解能が実現できます。 特に低ノイズが要求されるアプリケーション用に、200NVという超低ノイズドライバーも御用意しています。 【ラインナップ】 ○対物レンズフォーカシングアクチュエーター ○高剛性オリエンテーションフリーステージ ○高剛性薄型高進直性ステージ（X X-Yステージ） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：オーテックス株式会社
- 価格：応相談
ピエゾ/ステージ 「ピエゾ(圧電)素子ステージ」
クローズドループシステムであっても、インターチェンジャブルに使用できます。
Piezo System Jena社ではピエゾアクチェーター用に低ノイズコントローラーを開発・製造しております。 これらのコントローラーは同社のステージと組み合わさることにより、キャリブレーションフリーのシステムとなります。 【仕様】 [ピエゾ用低ノイズドライバー] ○可動軸 1～6軸 ○電流値 10-800mA ○対応センサー ストレインゲージ（歪み）・キャパシティブ ○電圧ノイズ ＜0.3mV RMS.@500Hz ○キャリブレーションフリーシステム →クローズドループシステムであっても、 インターチェンジャブルに使用できる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：オーテックス株式会社
- 価格：応相談
