フォトマスク基板検査装置『Torin G8／G10』
測定範囲は最大2100×2000mmまで可能！パソコンにてサーボモータの速度と位置決めをしています
『Torin G8／G10』は、フォトマスク基板にストレスをかけずに垂直に立てて 基板の厚み、平面度を対向する2基の半導体レーザが高精度に計測する フォトマスク基板検査装置です。 測定範囲は最大2100×2000mmまで可能。 主定盤、コラム、スライド部はすべてインド産黒ミカゲ石を使用し、計測に 重要な計測軸にはエアーベアリングが採用されています。 【特長】 ■2基の半導体レーザが高精度に計測 ■計測に重要な計測軸にはエアーベアリングを採用 ■1基の光学プローブは鏡面基板のみに使用され絶対厚みと両平面度を得られる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：土井精密ラップ株式会社
- 価格：応相談
