『PLマッピング装置』
フルオートメーション化可能！充実したマッピングができる装置
『PLマッピング装置』は、LED/LD生産のための2,3,4インチウェハ のフォトルミネッセンスおよび膜厚マッピング測定を行う装置です。 自動XYステージ、オリジナルの多機能測定ソフトウェアにより 充実したマッピングが行えます。 また、ウェハ自動供給・収納機構の接続によりフルオートメーション化 が可能です。 【特長】 ■2,3,4インチウェハの測定が可能 ■オプションにより1/4切断ウェハの測定も可能 ■充実したマッピング ■フルオートメーション化可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ユアサエレクトロニクス株式会社
- 価格：応相談
