フッ素真空ポンプオイル - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

フッ素真空ポンプオイル

PFPEより優れたポンプオイル

酸性ガス・液体と反応せず、長寿命化に貢献します。 一般溶剤で拭き取れ、メンテナンスが楽になります。 半導体真空ポンプにおいて、適切な潤滑剤は反応性プロセス化学によるメンテナンスやコスト負担を軽減できます。