フラットパネル露光装置 - 企業1社の製品一覧

フラットパネル露光装置＜超大型縦型露光＞

大型パネルのマスクの撓みを大幅に削減！！

<特徴> 大型パネルのマスクの撓みを最小限に抑えたマスク縦型の露光装置です。 多面取、大型パネルをXステップで露光。高い継ぎ精度で露光します。 マスクとパネルの精密温度制御を行い、トータルピッチを抑えた装置になっています。

• 企業：株式会社清和光学製作所
• 価格：応相談

• ウエハ加工/研磨装置
• その他半導体製造装置
• その他表面処理装置