プラズマFIBSEM - メーカー・企業と製品の一覧

プラズマFIB-SEMの加工～分析性能と実例～

100μm以上でも加工可能！ソース・ゲートがある構造物まで加工・観察・分析ができます

当社のプラズマFIBはFE-SEMを搭載しており、FIB加工しながら FE-SEM観察が可能です。断面加工は垂直に行い、FE-SEM観察は52°傾斜させた状態での撮影となります。ご希望により、測長・画像の傾斜補正も可能ですので、ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■1時間以内でSiCの断面加工が可能 ■ソース・ゲートがある構造物まで加工・観察・分析が可能 ■100μm以上でも加工可能 ■50μm以上の深い箇所のEDS分析が可能に ■FE-SEMを搭載しており、FIB加工しながらFE-SEM観察が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。