枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）
枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）
本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）等の処理を行う枚葉式プラズマエッチング処理装置です。 オペレーションパネルにより、DPモードとRIEモードを切り替える事が出来ます。 ウエハサイズ6インチ、8インチに対応しています。
- 企業：株式会社リバティー
- 価格：応相談
プラズマエッチング処理装置(プラズマ) - 企業1社の製品一覧
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