PLAZMARKによるマスキング効果の確認
プラズマ照射部分とマスク部分の境界が明確に！マスキング効果の結果をご紹介
「PLAZMARK」の一部をマスキングしてプラズマ処理し、マスク有無の 部分の変色性を確認した結果についてご紹介いたします。 マスクしていない部分については O2プラズマでは黄色に変色、Arプラズマ では灰色に変色するが、マスクしている部分は変色が見られないといった 結果に。 結論は、耐熱性NO.101はプラズマが照射された部分のみ変色する為、 メタルマスクでのパターニングの効果や遮蔽物の影響を見ることが可能と いうものでした。 【プラズマ処理条件(一部)】 ■ガス種：O2 ・ガス流量(sccm)：40 ・処理圧力(Pa)：10 ・電力(W)：100 ・処理時間(min)：5 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社サクラクレパス PI事業部
- 価格：応相談
