プロセスガスモニター QuleeCGMシリーズ
各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。
高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガスモニタです。
- 企業：株式会社京都タカオシン
- 価格：応相談
プロセスガスモニタ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
プロセスガスモニタの製品一覧
1～2 件を表示 ／ 全 2 件
表示件数
プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』
真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80amu）かつ高感度で分圧測定を実現。
プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。 プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。 【特長】 ■プロセス中に高感度で水素を検出 ■広い圧力領域を高感度で測定 ■メンテナンスサイクルが長く、低ランニングコスト ■さまざまなアラーム機能により、生産中に異常を検出 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 資料内の動作圧力に関する記載が「1.3Pa以下」となっておりますが、正しくは「2.0Pa以下」となります。
- 企業：キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
- 価格：応相談
