プロセスガス分析装置×株式会社マイクロフェーズ - 企業1社の製品一覧

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CVDプロセスのガス成分をその場で分析できる四重極質量分析システムです。

当社の各種ナノカーボン製造装置やバイオマス炭化装置にそのまま組み込んで使用できるように設計してあります。作動排気系を有し、高い圧力のCVD条件にも対応できます。

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