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プロセスネガ型レジスト材料 - メーカー・企業と製品の一覧

プロセスネガ型レジスト材料の製品一覧

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リフトオフプロセス向けネガ型レジスト材料 『SAシリーズ』

逆テーパー形状およびホールパターンが作製可能な、リフトオフプロセス向けのアクリル系ネガ型レジスト材料です

『SAシリーズ』は下記特性を持つ、逆テーパー形状およびホールパターンの形成が可能なネガ型レジスト材料です。 ■ 厚膜形成可能:≦ 20 μm ■ 高感度:≧ 60 mJ/cm2 ■ 高耐熱性:≦ 130℃ ■ 室温にて有機溶剤で剥離可能 ※ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

  • その他高分子材料

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