半導体製造プロセスにおける圧力計測機器＜空気調和システム＞
極微差圧(10Pa)レンジから高感度に計測！全レンジ50kPaの高耐圧を実現したセンサ
半導体製造プロセスの空気調和システムにおける、圧力計測機器の 用途事例をご紹介します。 極微差圧(10Pa)レンジから高感度に計測でき、全レンジ50kPaの 高耐圧を実現した、シリコンキャパシタンスセンサが利用可能。 微差圧計測のIO-Link対応を開始し、空調システムの進化に対応します。 【空気調和システム圧力計測分野】 ■ドライエアー ■N2ガス ■排ガス ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：長野計器株式会社
- 価格：応相談
