ホットワイヤーソース『HWCV/DCAT-CVD/ICVD』
触媒CVDおよびiCVDアプリケーション向け！統合されたガス分配システム
当社では、触媒CVDおよびiCVDアプリケーション向けにホットワイヤーソースを 提供しています。 インラインおよびダイナミック製膜プロセスには特殊な直線形エネルギー源が 利用可能。 特殊設計のソースフランジ、すばやく取り付けができるワイヤーコンポーネント によって構成されており、必要に応じて、単にユニット毎に交換することで、 このワイヤーコンポーネントダウンタイムを短縮できます。 【特長】 ■無機（例えばSiH4）および有機（例えばCxHy、プラスチックモノマーの 前駆体が使用可能 ■統合されたガス分配システム ■連続的なシート、キャリア、またはロール・ツー・ロールプロセス ■自由な運転姿勢：上向き（制限付き）、下向き（制限付き）、垂直 ■プロセス要求に応じたワイヤー間隔に調整可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：フォンアルデンヌジャパン株式会社
- 価格：応相談
