ボールネジ駆動スイベルステージ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

ボールネジ駆動スイベルステージ

高精度チルトアライメントに最適

ウエハーのアライメント等に最適です。 ワークの上下に自由な空調が生まれ、設計の自由度が高まります。