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反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています
反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハや薄物ウェーハの搬送に適しています。 チャック本体は高純度アルミナセラミックスを使用し、ワーク吸着面のみに多孔質セラミックスを使用しています。 平均細孔径20μmの気孔径を有している為、従来の吸着面に1.5mm程度の溝を掘って吸着するチャックと比較し、溝部分に集中する吸着圧力を分散させる事ができ、薄物のワークなどの変形をおさえて吸着する事が可能です。 メッシュ粒径はグレード＃100、＃220、＃400から選択可能です。 ワーク吸着面に導電性テフロンコーティング処理も可能です。
セラミックや金属材料製品に比べ低コストなポーラスチャック！耐摩耗性に優れている上に柔らかい為、吸着ワークにストレスを掛け難い！
当社で取り扱っている「ポーラスPE 真空チャック」について ご紹介いたします。 セラミックや金属材料製品に比べ低コストであり、ポーラス材に目詰まりが 発生時、簡単操作で予備品と交換することが可能。 また、平均空気孔径が5μm以下のポーラス材を用いた場合は、部分吸着が でき、耐摩耗性に優れている上に柔らかい為、吸着ワークにストレスを 掛け難いです。 【特長】 ■セラミックや金属材料製品に比べ低コスト ■セラミックや金属材料製品に比べ80％程度軽量 ■ポーラス材に目詰まりが発生時、簡単操作で予備品と交換できる ■平均空気孔径が5μm以下のポーラス材を用いた場合は、部分吸着が可能 ■耐摩耗性に優れている上に柔らかい為、吸着ワークにストレスを掛け難い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
