チャック『セミオーダーポーラスチャック』
～Webでかんたん仕様を選べる～セミオーダーポーラスチャック
予め用意された仕様から最適な組み合わせを選択するポーラスチャック 「打ち合わせ」・「見積もり」・「口座開設」は一切不要 Webから即購入可能なポーラスチャックを販売開始
- 企業：株式会社吉岡精工
- 価格：応相談
ポーラスチャック(搬送) - メーカー・企業と製品の一覧
ポーラスチャックの製品一覧
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ポーラスチャック
反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています
反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハや薄物ウェーハの搬送に適しています。 チャック本体は高純度アルミナセラミックスを使用し、ワーク吸着面のみに多孔質セラミックスを使用しています。 平均細孔径20μmの気孔径を有している為、従来の吸着面に1.5mm程度の溝を掘って吸着するチャックと比較し、溝部分に集中する吸着圧力を分散させる事ができ、薄物のワークなどの変形をおさえて吸着する事が可能です。 メッシュ粒径はグレード＃100、＃220、＃400から選択可能です。 ワーク吸着面に導電性テフロンコーティング処理も可能です。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
