マイクロ波プラズマソース - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

マイクロ波プラズマソース『MIRENIQUEシリーズ』

MWPECVD用R&D装置に好適！MW-SURFATRONSは常圧または減圧に対応

『MIRENIQUEシリーズ』は、マイクロ波プラズマソースです。 PECVD用やダイアモンド・DLC・CNTやプラズマアシスト重合など向けで、 リアクター及びプラズマソースは、MWPECVD用R&D装置に好適。 MW-SURFATRONSは常圧又は減圧に対応しています。 【特長】 ■PECVD用やダイアモンド・DLC・CNTやプラズマアシスト重合など向け ■MWPECVD用R&D装置に適したリアクター及びプラズマソース ■MW-SURFATRONSは常圧又は減圧対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。