センサー 高感度マイクロ角度センサー
ＡＩＳＴと共同研究、ヘッド固定用治具製作 超小型・高精度・高速応答・多自由度2次元検出
半導体レーザ（ＬＤ）と分割型フォトダイオード（ＰＤ）の独自の光学系の採用で斬新なダウンサイジングと検出速度の高速化が実現できました。光電式２軸オートコリメータと並ぶ高精度 を達成しました。品質管理の測定器として、装置に常駐させる角度センサとして、角度計測の要望をフレキシブル・簡単に解決する画期的なセンサです。 光源が赤色レーザのため、セッティングが容易にできます。
- 企業：株式会社テクアルファ
- 価格：応相談
